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外延膜加工技术 外延膜制造方法 外延膜生产工艺
1、一种SiC衬底上生长高质量GaN外延膜的方法 2、一种SiC衬底生长GaN外延膜的方法 3、一种图案化衬底及其制作方法和利用其制作外延膜的方法 4、在低温下生长薄外延膜的方法 5、一种高精度外延膜厚监控片及其制备方法 6、在低温下生长薄外延膜的方法 7、沉积中卤素分子用作反应...
更新:
2022-01-27 13:37:00
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